主管单位:《半导体芯片制造技术》系统地介绍了半导体芯片制造技术,内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、...
作者
[杜中一] 主编
出版社
电子工业出版社
出版时间
2012-02
开本
16开
包装
平装