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半导体论文实用13篇

半导体论文
半导体论文篇1

一教师教学观念的转变是实施研究性学习的前提

半导体物理的特点是概念多,理论多,物理模型抽象,不易理解,在课本上上学习,学生会感到内容枯燥,缺少直观性和形象性,学习起来比较困难。因此,教师想尽其所能改变传统的教育方式,在教学中进行专题讲座、分组讨论、充分利用PPT,flash等多媒体软件,安排学生针对具体研究问题进行研究实践等教学形式,转变教学观念,改变学习方式和状态,把学生置于学习的主体地位,创设使学生主动参与的教学情景,激发学生学习的主动性[2]。

二加强课程建设,根据专业特点及科技发展的需要

合理的安排教学内容,讲课内容做到丰富、全面,知识点讲解透彻,同时了解行业发展动态半导体物理学教材采用刘恩科主编的《半导体物理学》第七版,结合我校微电子学专业的具体情况,我们对该书的课内精讲教学内容进行了整合。首先把握好整体知识结构,在此基础上突出教学重点。(一)首先做好先修知识的衔接半导体前五章为理论基础的部分,主要讲述了半导体中的电子状态,杂质和能级缺陷,载流子的统计分布,半导体的导电性与非平衡载流子,在此基础上阐述了电子的有效质量,费米能级,迁移率,非平衡载流子寿命等基本概念。第一章和第四章的知识点包括晶体结构、晶面、晶向、晶格振动、能带理论等,讲授新课之前将涉及到的知识点让学生课下进行自主学习。如果有不理解的内容可通过课下答疑的方式进行辅导。(二)重要的知识要精细解读教师在课堂授课的时候要明确本次课程学习的主线,在主线中穿插重要的概念和主要知识点,复杂公式详细的推导过程被弱化,力求想法清楚、定义明确、难点清晰。比如在教师教授第三章的课程时,学习载流子浓度,应该让学生清楚的明白要先计算的是状态密度,然后再计算费米分布函数或者玻尔兹曼函数,最后计算出平衡时的空穴和电子的浓度。(三)最新的知识扩充因为非常迅速发展的现代半导体技术,以及不断拓展的技术研究方向,半导体领域的相关知识更新也很快,因此,与时俱进是教师应该做到的,时刻关注研究热点与科技前沿,更要将教学内容合理安排。对于本书中的第七章、第九章和第十章书本上的知识点不过多讲解,只做基础的介绍即可,主要讲解基本理论和基本概念,比较难的内容只做一般性的了解。教师要合理取舍教学内容,与其他课程的重叠内容要压缩,更要将教材中的陈旧知识删除。(四)实验内容和方式的转变为调动学生实验的积极性,增加难度,我们将工艺实验中得到的产品用到测试实验中,既能够验证工艺实验的成果,也能够分析更多的实验参数,达到将理论课和实验课内容更好结合的目的,还能锻炼学生对实验数据分析和处理的能力。在实验方面也进行了研究性学习的探索,努力引导学生进行研究性实验。

三引入研究性学习思想,培养学生文献调研能力

网络是知识的海洋,让学生利用网络来学习半导体物理相关资料提高自主学习性以及运用所学的知识进行自主创新的能力是非常重要的。把学生被动式学习的模式转化为以学生为主导的教学方式,让学生融入所设问题的情景中,引出科研中遇到的问题,并对某些问题进行讨论。在文献调研的过程中,让学生充分、及时地了解半导体产业发展的相关动态,学会“详读”和“粗读”文献,多多积累文献中涉及到半导体物理的知识,加强对课堂所学内容的理解,激发学生的创新思维。读过文献后要做出相应的总结汇报,可以以PPT的形式给出,方便其他人对文献的理解,学生也可以尝试到作为一名老师的感觉。这样师生互换角色,在教师的引导下使学生成为富有主动性的探究与学习者。四将科研融入到教学中把科研和教学结合起来,让学生明白自己学习的知识可以具体应用到生产生活的哪些方面。我们可以做的有:(1)针对课堂教学中讲到的半导体中的物理现象或者概念应用到某一个器件的制造中,激励学生通过课程设计过程的方式参与到学院老师的项目中,通过具体的研究工作,将研究结果撰写成研究论文。(2)将已取得的科研成果作为新的教学内容,充实到教学中去,使课堂上所讲的知识和我们实际的工业生产、生活联系起来,远离以往单一、抽象、枯燥的教学,使学生带着问题来学习新知识,鼓励学生参与真实科研项目的研究。以这两种方式提高学生了解问题、剖析问题的能力,让学生积极参与其中,把抽象的东西实物化,教学效果非常明显。综上所述,我们将以更新教学内容、改变教学观念、注重实验、实践教学、培养学生的创新精神为目的进行半导体物理的课程改革来解决教学过程中存在的一些问题。

作者:王月 李雪 张经慧 单位:渤海大学

参考文献

[1]喻思红,范湘红,赵小红.研究性学习教学模式在课堂教学中的实践及评价[J].中华护理杂志,2005,40(5):380-382.

半导体论文篇2

1半导体物理实验课程存在的问题与困难

半导体物理实验是物理学专业电子材料与器件工程方向必修的一门专业实验课,旨在培养学生对半导体材料和器件的制备及测试方法的实践操作能力,其教学效果直接影响着后续研究生阶段的学习和毕业工作实践。通过对前几年本专业毕业生的就业情况分析,发现该专业毕业生缺乏对领域内前沿技术的理解和掌握。由于没有经过相关知识的实验训练,不少毕业生就业后再学习过程较长,融入企事业单位较慢,因此提升空间受到限制。1.1教学内容简单陈旧。目前,国内高校在半导体物理实验课程教学内容的设置上大同小异,基础性实验居多,对于新能源、新型电子器件等领域的相关实验内容完全没有或涉及较少。某些高校还利用虚拟实验来进行实验教学,其实验效果远不如学生实际动手操作。我校的半导体物理实验原有教学内容主要参照上个世纪七、八十年代国家对半导体产业人才培养的要求所设置,受技术、条件所限,主要以传统半导体物理的基础类实验为主,实验内容陈旧。但是在实验内容中添加新能源、新型电子器件等领域的技术方法,对于增加学生对所学领域内最新前沿技术的了解,掌握现代技术中半导体材料特性相关的实验手段和测试技术是极为重要的。1.2仪器设备严重匮乏。半导体物理实验的教学目标是使学生熟练掌握半导体材料和器件的制备、基本物理参数以及物理性质的测试原理和表征方法,为半导体材料与器件的开发设计与研制奠定基础。随着科学技术的不断发展,专业实验的教学内容应随着专业知识的更新及行业的发展及时调整,从而能更好的完成课程教学目标的要求,培养新时代的人才。实验内容的调整和更新需要有新型的实验仪器设备做保障,但我校原有实验教学仪器设备绝大部分生产于上个世纪六七十年代,在长期实验教学过程中,不少仪器因无法修复的故障而处于待报废状态。由于仪器设备不能及时更新,致使个别实验内容无法正常进行,可运行的仪器设备也因为年代久远,实验误差大、重复性低,有时甚至会得到错误的实验结果,只能作学生“按部就班”的基础实验,难以进行实验内容的调整,将新技术新方法应用于教学中。因此,在改革之前半导体物理实验的实验设计以基础类实验为主,设计性、应用性、综合性等提高类实验较少,且无法开展创新类实验。缺少自主设计、创新、协作等实践能力的训练,不仅极大地降低学生对专业实验的兴趣,且不利于学生实践和创新创业能力的培养,半导体物理实验课程的改革势在必行。

2半导体物理实验课程改革的内容与举措

半导体物理实验开设时间为本科大四秋季学期,该实验课与专业理论课半导体物理学、半导体器件、薄膜物理学在同一学期进行。随着半导体技术日新月异发展的今天,对半导体物理实验的教学内容也提出了新的要求,因此,要求这门实验课程不仅能够通过对半导体材料某些重要参数和特性的观测,使学生掌握半导体材料和器件的制备及基本物理参数与物理性质的测试方法,而且可以在铺垫必备基础和实际操作技能的同时,拓展学生在电子材料与器件工程领域的科学前沿知识,为将来独立开展产品的研制和科学研究打下坚实的基础。2.1实验基础设施的建设。2013年年底,基于我校本科教学项目的资金支持,半导体物理实验教学团队通过调研国内外高校现行半导体物理实验教学资料,结合我校实验教学的自身特点,按照创新教育的要求重新设计了半导体物理实验内容,并根据所开设实验教学内容合理配置相应的实验仪器设备,新配置仪器设备具有一定的前瞻性,品质优良,数量合理,保证实验教学质量。由于作为一门专业实验课,每学年只有一个学期承担教学任务,为了提高仪器设备的利用率,做到实验设备资源的不浪费,计划成立一间半导体物理实验专属的实验室,用于陈放新购置的实验设备,在没有教学任务的学期,该实验室做为科研实验室和创新创业实验室使用。通过近三年的建设,半导体物理实验专属实验室———新能源材料与电子器件工程创新实验室建成并投入使用,该实验室为电子材料与器件工程方向的本科生毕业论文设计以及全院本科生的创新创业实验设计提供了基本保障,更为重要的是该实验室的建成极大地改善了半导体物理实验的原有教学条件,解决了实际困难,使得半导体物理实验教学效果显著提升。不仅加强了学生对专业核心知识理解和掌握,而且启发学生综合运用所学知识创造性地解决实际问题,有效提高学生的实践动手能力、创新能力和综合素质。2.2实验教学内容的更新。半导体物理实验是一门72学时的实验课,在专属实验室建成后,按照重视基础、突出综合、强调创新、提升能力的要求,逐步培养与提高学生的科学实验素质和创新能力,构建了“九—八—五”新的实验内容体系,包括如下三个层次(表1)。第一层次为“九”个基础型实验,涵盖对半导体材料的物理性质(结构、电学、光学)的测定,通过对物理量的测量验证物理规律,训练学生观察、分析和研究半导体物理实验现象的能力,掌握常用基本半导体物理实验仪器的原理、性能和测量方法等。第二层次为“八”个提高型实验(综合、应用性实验),学生通过第一层次的实验训练后,已掌握了基本的实验方法和技能,在此基础上,开展综合性实验,可以培养学生综合运用所学知识以及分析和解决问题的能力。通过应用性实验培养学生将来利用设备原理从事生产或者技术服务的能力。第三层次为“五”个设计创新型实验,学生需运用多学科知识、综合多学科内容,结合教师的科研项目进行创新研究,通过设计型实验可以锻炼学生组织和自主实验的能力,着力培养学生创新实践能力和基本的科研素质。每个基础型实验4学时,提高型实验8学时,创新型实验12学时,规定基础型为必修实验,提高型、创新型为选作实验。九个基础型实验全部完成后,学生可根据兴趣和毕业设计要求在提高型、创新型实验中各分别选做一定数量的实验,在开课学期结束时完成至少72个学时的实验并获得成绩方为合格。2.3实验教学方式的优化。在教学方式上,建立以学生为中心、学生自我训练为主的教学模式,充分调动学生的主观能动性。将之前老师实验前的讲解转变为学生代表讲解实验内容,然后老师提问并补充完善,在整个实验安排过程中,实验内容由浅入深、由简单到综合、逐步过渡至设计和研究创新型实验。三个层次的实验内容形成连贯的实验梯度教学体系,在充分激发学生学习兴趣的同时,培养学生自主学习、自发解决问题的能力。2.4实验考核机制的改革。目前大部分实验课的成绩由每次实验后的“实验报告”的平均成绩决定,然而单独一份实验报告并不能够完整反应学生的实际动手操作能力和对实验内容的熟悉程度。因此,本课程将此改革为总成绩由每次“实验”的平均成绩决定。每次实验成绩包括实验预习、实验操作和实验报告三部分,实验开始前通过问答以及学生讲解实验内容来给出实验预习成绩;实验操作成绩是个团队成绩反映每组实验学生在实验过程中的动手能力以及组员之间的相互协助情况;针对提高型和创新性实验,特别是创新性实验,要求以科技论文的形式来撰写实验报告,以此来锻炼本科生的科技论文写作能力。通过三部分综合来给出的实验成绩更注重对知识的掌握、能力的提高和综合素质的培养等方面的考核。

3半导体物理实验课程改革后的成效

半导体物理实验在我校本科教学项目的支持下,购置并更新了实验设备建立了专属实验室,构建了“九—八—五”新实验内容体系,并采用新的教学方式和考核机制,教师和学生普遍感觉到新实验教学体系的目的性、整体性和层次性都得到了极大的提高。教学内容和教学方式的调整,使学生理论联系实际的能力得到增强,提高了学生的积极性和主动性。实验中学生实际动手的机会增多,对知识的渴求程度明显加强,为了更好地完成创新设计实验,部分本科生还会主动去查阅研中英文科技文献,真正做到了自主自觉的学习。通过实验课程的教学,学生掌握了科技论文的基本格式,数据处理的图表制作,了解了科学研究的过程,具备了基本的科研能力,也为学生的毕业设计打下了良好的基础。与此同时,利用新购置的实验设备建立的实验室,在做为科研实验室和创新创业实验室使用时,也取得了优异的成绩。依托本实验室,2015年“部级大学生创新创业训练计划”立项3项,2016年“部级大学生创新创业训练计划”立项4项。

半导体论文篇3

上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息时代。超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”发展到“能带工程”。纳米科学技术的发展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻地影响着世界的政治、经济格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。

2几种主要半导体材料的发展现状与趋势

2.1硅材料

从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si发展的总趋势。目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC‘s)技术正处在由实验室向工业生产转变中。目前300mm,0.18μm工艺的硅ULSI生产线已经投入生产,300mm,0.13μm工艺生产线也将在2003年完成评估。18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。

从进一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。另外,SOI材料,包括智能剥离(Smartcut)和SIMOX材料等也发展很快。目前,直径8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在开发中。

理论分析指出30nm左右将是硅MOS集成电路线宽的“极限”尺寸。这不仅是指量子尺寸效应对现有器件特性影响所带来的物理限制和光刻技术的限制问题,更重要的是将受硅、SiO2自身性质的限制。尽管人们正在积极寻找高K介电绝缘材料(如用Si3N4等来替代SiO2),低K介电互连材料,用Cu代替Al引线以及采用系统集成芯片技术等来提高ULSI的集成度、运算速度和功能,但硅将最终难以满足人类不断的对更大信息量需求。为此,人们除寻求基于全新原理的量子计算和DNA生物计算等之外,还把目光放在以GaAs、InP为基的化合物半导体材料,特别是二维超晶格、量子阱,一维量子线与零维量子点材料和可与硅平面工艺兼容GeSi合金材料等,这也是目前半导体材料研发的重点。

2.2GaAs和InP单晶材料

GaAs和InP与硅不同,它们都是直接带隙材料,具有电子饱和漂移速度高,耐高温,抗辐照等特点;在超高速、超高频、低功耗、低噪音器件和电路,特别在光电子器件和光电集成方面占有独特的优势。

目前,世界GaAs单晶的总年产量已超过200吨,其中以低位错密度的垂直梯度凝固法(VGF)和水平(HB)方法生长的2-3英寸的导电GaAs衬底材料为主;近年来,为满足高速移动通信的迫切需求,大直径(4,6和8英寸)的SI-GaAs发展很快。美国莫托罗拉公司正在筹建6英寸的SI-GaAs集成电路生产线。InP具有比GaAs更优越的高频性能,发展的速度更快,但研制直径3英寸以上大直径的InP单晶的关键技术尚未完全突破,价格居高不下。

GaAs和InP单晶的发展趋势是:

(1)。增大晶体直径,目前4英寸的SI-GaAs已用于生产,预计本世纪初的头几年直径为6英寸的SI-GaAs也将投入工业应用。

(2)。提高材料的电学和光学微区均匀性。

(3)。降低单晶的缺陷密度,特别是位错。

(4)。GaAs和InP单晶的VGF生长技术发展很快,很有可能成为主流技术。

2.3半导体超晶格、量子阱材料

半导体超薄层微结构材料是基于先进生长技术(MBE,MOCVD)的新一代人工构造材料。它以全新的概念改变着光电子和微电子器件的设计思想,出现了“电学和光学特性可剪裁”为特征的新范畴,是新一代固态量子器件的基础材料。

(1)Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料。

GaAIAs/GaAs,GaInAs/GaAs,AIGaInP/GaAs;GalnAs/InP,AlInAs/InP,InGaAsP/InP等GaAs、InP基晶格匹配和应变补偿材料体系已发展得相当成熟,已成功地用来制造超高速,超高频微电子器件和单片集成电路。高电子迁移率晶体管(HEMT),赝配高电子迁移率晶体管(P-HEMT)器件最好水平已达fmax=600GHz,输出功率58mW,功率增益6.4db;双异质结双极晶体管(HBT)的最高频率fmax也已高达500GHz,HEMT逻辑电路研制也发展很快。基于上述材料体系的光通信用1.3μm和1.5μm的量子阱激光器和探测器,红、黄、橙光发光二极管和红光激光器以及大功率半导体量子阱激光器已商品化;表面光发射器件和光双稳器件等也已达到或接近达到实用化水平。目前,研制高质量的1.5μm分布反馈(DFB)激光器和电吸收(EA)调制器单片集成InP基多量子阱材料和超高速驱动电路所需的低维结构材料是解决光纤通信瓶颈问题的关键,在实验室西门子公司已完成了80×40Gbps传输40km的实验。另外,用于制造准连续兆瓦级大功率激光阵列的高质量量子阱材料也受到人们的重视。

虽然常规量子阱结构端面发射激光器是目前光电子领域占统治地位的有源器件,但由于其有源区极薄(~0.01μm)端面光电灾变损伤,大电流电热烧毁和光束质量差一直是此类激光器的性能改善和功率提高的难题。采用多有源区量子级联耦合是解决此难题的有效途径之一。我国早在1999年,就研制成功980nmInGaAs带间量子级联激光器,输出功率达5W以上;2000年初,法国汤姆逊公司又报道了单个激光器准连续输出功率超过10瓦好结果。最近,我国的科研工作者又提出并开展了多有源区纵向光耦合垂直腔面发射激光器研究,这是一种具有高增益、极低阈值、高功率和高光束质量的新型激光器,在未来光通信、光互联与光电信息处理方面有着良好的应用前景。

为克服PN结半导体激光器的能隙对激光器波长范围的限制,1994年美国贝尔实验室发明了基于量子阱内子带跃迁和阱间共振隧穿的量子级联激光器,突破了半导体能隙对波长的限制。自从1994年InGaAs/InAIAs/InP量子级联激光器(QCLs)发明以来,Bell实验室等的科学家,在过去的7年多的时间里,QCLs在向大功率、高温和单膜工作等研究方面取得了显着的进展。2001年瑞士Neuchatel大学的科学家采用双声子共振和三量子阱有源区结构使波长为9.1μm的QCLs的工作温度高达312K,连续输出功率3mW.量子级联激光器的工作波长已覆盖近红外到远红外波段(3-87μm),并在光通信、超高分辨光谱、超高灵敏气体传感器、高速调制器和无线光学连接等方面显示出重要的应用前景。中科院上海微系统和信息技术研究所于1999年研制成功120K5μm和250K8μm的量子级联激光器;中科院半导体研究所于2000年又研制成功3.7μm室温准连续应变补偿量子级联激光器,使我国成为能研制这类高质量激光器材料为数不多的几个国家之一。

目前,Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料作为超薄层微结构材料发展的主流方向,正从直径3英寸向4英寸过渡;生产型的MBE和M0CVD设备已研制成功并投入使用,每台年生产能力可高达3.75×104片4英寸或1.5×104片6英寸。英国卡迪夫的MOCVD中心,法国的PicogigaMBE基地,美国的QED公司,Motorola公司,日本的富士通,NTT,索尼等都有这种外延材料出售。生产型MBE和MOCVD设备的成熟与应用,必然促进衬底材料设备和材料评价技术的发展。

(2)硅基应变异质结构材料。

硅基光、电器件集成一直是人们所追求的目标。但由于硅是间接带隙,如何提高硅基材料发光效率就成为一个亟待解决的问题。虽经多年研究,但进展缓慢。人们目前正致力于探索硅基纳米材料(纳米Si/SiO2),硅基SiGeC体系的Si1-yCy/Si1-xGex低维结构,Ge/Si量子点和量子点超晶格材料,Si/SiC量子点材料,GaN/BP/Si以及GaN/Si材料。最近,在GaN/Si上成功地研制出LED发光器件和有关纳米硅的受激放大现象的报道,使人们看到了一线希望。

另一方面,GeSi/Si应变层超晶格材料,因其在新一代移动通信上的重要应用前景,而成为目前硅基材料研究的主流。Si/GeSiMODFET和MOSFET的最高截止频率已达200GHz,HBT最高振荡频率为160GHz,噪音在10GHz下为0.9db,其性能可与GaAs器件相媲美。

尽管GaAs/Si和InP/Si是实现光电子集成理想的材料体系,但由于晶格失配和热膨胀系数等不同造成的高密度失配位错而导致器件性能退化和失效,防碍着它的使用化。最近,Motolora等公司宣称,他们在12英寸的硅衬底上,用钛酸锶作协变层(柔性层),成功的生长了器件级的GaAs外延薄膜,取得了突破性的进展。

2.4一维量子线、零维量子点半导体微结构材料

基于量子尺寸效应、量子干涉效应,量子隧穿效应和库仑阻效应以及非线性光学效应等的低维半导体材料是一种人工构造(通过能带工程实施)的新型半导体材料,是新一代微电子、光电子器件和电路的基础。它的发展与应用,极有可能触发新的技术革命。

目前低维半导体材料生长与制备主要集中在几个比较成熟的材料体系上,如GaAlAs/GaAs,In(Ga)As/GaAs,InGaAs/InAlAs/GaAs,InGaAs/InP,In(Ga)As/InAlAs/InP,InGaAsP/InAlAs/InP以及GeSi/Si等,并在纳米微电子和光电子研制方面取得了重大进展。俄罗斯约飞技术物理所MBE小组,柏林的俄德联合研制小组和中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组等研制成功的In(Ga)As/GaAs高功率量子点激光器,工作波长lμm左右,单管室温连续输出功率高达3.6~4W.特别应当指出的是我国上述的MBE小组,2001年通过在高功率量子点激光器的有源区材料结构中引入应力缓解层,抑制了缺陷和位错的产生,提高了量子点激光器的工作寿命,室温下连续输出功率为1W时工作寿命超过5000小时,这是大功率激光器的一个关键参数,至今未见国外报道。

在单电子晶体管和单电子存贮器及其电路的研制方面也获得了重大进展,1994年日本NTT就研制成功沟道长度为30nm纳米单电子晶体管,并在150K观察到栅控源-漏电流振荡;1997年美国又报道了可在室温工作的单电子开关器件,1998年Yauo等人采用0.25微米工艺技术实现了128Mb的单电子存贮器原型样机的制造,这是在单电子器件在高密度存贮电路的应用方面迈出的关键一步。目前,基于量子点的自适应网络计算机,单光子源和应用于量子计算的量子比特的构建等方面的研究也正在进行中。

与半导体超晶格和量子点结构的生长制备相比,高度有序的半导体量子线的制备技术难度较大。中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组,在继利用MBE技术和SK生长模式,成功地制备了高空间有序的InAs/InAI(Ga)As/InP的量子线和量子线超晶格结构的基础上,对InAs/InAlAs量子线超晶格的空间自对准(垂直或斜对准)的物理起因和生长控制进行了研究,取得了较大进展。

王中林教授领导的乔治亚理工大学的材料科学与工程系和化学与生物化学系的研究小组,基于无催化剂、控制生长条件的氧化物粉末的热蒸发技术,成功地合成了诸如ZnO、SnO2、In2O3和Ga2O3等一系列半导体氧化物纳米带,它们与具有圆柱对称截面的中空纳米管或纳米线不同,这些原生的纳米带呈现出高纯、结构均匀和单晶体,几乎无缺陷和位错;纳米线呈矩形截面,典型的宽度为20-300nm,宽厚比为5-10,长度可达数毫米。这种半导体氧化物纳米带是一个理想的材料体系,可以用来研究载流子维度受限的输运现象和基于它的功能器件制造。香港城市大学李述汤教授和瑞典隆德大学固体物理系纳米中心的LarsSamuelson教授领导的小组,分别在SiO2/Si和InAs/InP半导体量子线超晶格结构的生长制各方面也取得了重要进展。

低维半导体结构制备的方法很多,主要有:微结构材料生长和精细加工工艺相结合的方法,应变自组装量子线、量子点材料生长技术,图形化衬底和不同取向晶面选择生长技术,单原子操纵和加工技术,纳米结构的辐照制备技术,及其在沸石的笼子中、纳米碳管和溶液中等通过物理或化学方法制备量子点和量子线的技术等。目前发展的主要趋势是寻找原子级无损伤加工方法和纳米结构的应变自组装可控生长技术,以求获得大小、形状均匀、密度可控的无缺陷纳米结构。

2.5宽带隙半导体材料

宽带隙半导体材主要指的是金刚石,III族氮化物,碳化硅,立方氮化硼以及氧化物(ZnO等)及固溶体等,特别是SiC、GaN和金刚石薄膜等材料,因具有高热导率、高电子饱和漂移速度和大临界击穿电压等特点,成为研制高频大功率、耐高温、抗辐照半导体微电子器件和电路的理想材料;在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面有着广泛的应用前景。另外,III族氮化物也是很好的光电子材料,在蓝、绿光发光二极管(LED)和紫、蓝、绿光激光器(LD)以及紫外探测器等应用方面也显示了广泛的应用前景。随着1993年GaN材料的P型掺杂突破,GaN基材料成为蓝绿光发光材料的研究热点。目前,GaN基蓝绿光发光二极管己商品化,GaN基LD也有商品出售,最大输出功率为0.5W.在微电子器件研制方面,GaN基FET的最高工作频率(fmax)已达140GHz,fT=67GHz,跨导为260ms/mm;HEMT器件也相继问世,发展很快。此外,256×256GaN基紫外光电焦平面阵列探测器也已研制成功。特别值得提出的是,日本Sumitomo电子工业有限公司2000年宣称,他们采用热力学方法已研制成功2英寸GaN单晶材料,这将有力的推动蓝光激光器和GaN基电子器件的发展。另外,近年来具有反常带隙弯曲的窄禁带InAsN,InGaAsN,GaNP和GaNAsP材料的研制也受到了重视,这是因为它们在长波长光通信用高T0光源和太阳能电池等方面显示了重要应用前景。

以Cree公司为代表的体SiC单晶的研制已取得突破性进展,2英寸的4H和6HSiC单晶与外延片,以及3英寸的4HSiC单晶己有商品出售;以SiC为GaN基材料衬低的蓝绿光LED业已上市,并参于与以蓝宝石为衬低的GaN基发光器件的竟争。其他SiC相关高温器件的研制也取得了长足的进步。目前存在的主要问题是材料中的缺陷密度高,且价格昂贵。

II-VI族兰绿光材料研制在徘徊了近30年后,于1990年美国3M公司成功地解决了II-VI族的P型掺杂难点而得到迅速发展。1991年3M公司利用MBE技术率先宣布了电注入(Zn,Cd)Se/ZnSe兰光激光器在77K(495nm)脉冲输出功率100mW的消息,开始了II-VI族兰绿光半导体激光(材料)器件研制的高潮。经过多年的努力,目前ZnSe基II-VI族兰绿光激光器的寿命虽已超过1000小时,但离使用差距尚大,加之GaN基材料的迅速发展和应用,使II-VI族兰绿光材料研制步伐有所变缓。提高有源区材料的完整性,特别是要降低由非化学配比导致的点缺陷密度和进一步降低失配位错和解决欧姆接触等问题,仍是该材料体系走向实用化前必须要解决的问题。

宽带隙半导体异质结构材料往往也是典型的大失配异质结构材料,所谓大失配异质结构材料是指晶格常数、热膨胀系数或晶体的对称性等物理参数有较大差异的材料体系,如GaN/蓝宝石(Sapphire),SiC/Si和GaN/Si等。大晶格失配引发界面处大量位错和缺陷的产生,极大地影响着微结构材料的光电性能及其器件应用。如何避免和消除这一负面影响,是目前材料制备中的一个迫切要解决的关键科学问题。这个问题的解泱,必将大大地拓宽材料的可选择余地,开辟新的应用领域。

目前,除SiC单晶衬低材料,GaN基蓝光LED材料和器件已有商品出售外,大多数高温半导体材料仍处在实验室研制阶段,不少影响这类材料发展的关键问题,如GaN衬底,ZnO单晶簿膜制备,P型掺杂和欧姆电极接触,单晶金刚石薄膜生长与N型掺杂,II-VI族材料的退化机理等仍是制约这些材料实用化的关键问题,国内外虽已做了大量的研究,至今尚未取得重大突破。

3光子晶体

光子晶体是一种人工微结构材料,介电常数周期的被调制在与工作波长相比拟的尺度,来自结构单元的散射波的多重干涉形成一个光子带隙,与半导体材料的电子能隙相似,并可用类似于固态晶体中的能带论来描述三维周期介电结构中光波的传播,相应光子晶体光带隙(禁带)能量的光波模式在其中的传播是被禁止的。如果光子晶体的周期性被破坏,那么在禁带中也会引入所谓的“施主”和“受主”模,光子态密度随光子晶体维度降低而量子化。如三维受限的“受主”掺杂的光子晶体有希望制成非常高Q值的单模微腔,从而为研制高质量微腔激光器开辟新的途径。光子晶体的制备方法主要有:聚焦离子束(FIB)结合脉冲激光蒸发方法,即先用脉冲激光蒸发制备如Ag/MnO多层膜,再用FIB注入隔离形成一维或二维平面阵列光子晶体;基于功能粒子(磁性纳米颗粒Fe2O3,发光纳米颗粒CdS和介电纳米颗粒TiO2)和共轭高分子的自组装方法,可形成适用于可光范围的三维纳米颗粒光子晶体;二维多空硅也可制作成一个理想的3-5μm和1.5μm光子带隙材料等。目前,二维光子晶体制造已取得很大进展,但三维光子晶体的研究,仍是一个具有挑战性的课题。最近,Campbell等人提出了全息光栅光刻的方法来制造三维光子晶体,取得了进展。

4量子比特构建与材料

随着微电子技术的发展,计算机芯片集成度不断增高,器件尺寸越来越小(nm尺度)并最终将受到器件工作原理和工艺技术限制,而无法满足人类对更大信息量的需求。为此,发展基于全新原理和结构的功能强大的计算机是21世纪人类面临的巨大挑战之一。1994年Shor基于量子态叠加性提出的量子并行算法并证明可轻而易举地破译目前广泛使用的公开密钥Rivest,Shamir和Adlman(RSA)体系,引起了人们的广泛重视。

所谓量子计算机是应用量子力学原理进行计的装置,理论上讲它比传统计算机有更快的运算速度,更大信息传递量和更高信息安全保障,有可能超越目前计算机理想极限。实现量子比特构造和量子计算机的设想方案很多,其中最引人注目的是Kane最近提出的一个实现大规模量子计算的方案。其核心是利用硅纳米电子器件中磷施主核自旋进行信息编码,通过外加电场控制核自旋间相互作用实现其逻辑运算,自旋测量是由自旋极化电子电流来完成,计算机要工作在mK的低温下。

这种量子计算机的最终实现依赖于与硅平面工艺兼容的硅纳米电子技术的发展。除此之外,为了避免杂质对磷核自旋的干扰,必需使用高纯(无杂质)和不存在核自旋不等于零的硅同位素(29Si)的硅单晶;减小SiO2绝缘层的无序涨落以及如何在硅里掺入规则的磷原子阵列等是实现量子计算的关键。量子态在传输,处理和存储过程中可能因环境的耦合(干扰),而从量子叠加态演化成经典的混合态,即所谓失去相干,特别是在大规模计算中能否始终保持量子态间的相干是量子计算机走向实用化前所必需克服的难题。

5发展我国半导体材料的几点建议

鉴于我国目前的工业基础,国力和半导体材料的发展水平,提出以下发展建议供参考。

5.1硅单晶和外延材料硅材料作为微电子技术的主导地位

至少到本世纪中叶都不会改变,至今国内各大集成电路制造厂家所需的硅片基本上是依赖进口。目前国内虽已可拉制8英寸的硅单晶和小批量生产6英寸的硅外延片,然而都未形成稳定的批量生产能力,更谈不上规模生产。建议国家集中人力和财力,首先开展8英寸硅单晶实用化和6英寸硅外延片研究开发,在“十五”的后期,争取做到8英寸集成电路生产线用硅单晶材料的国产化,并有6~8英寸硅片的批量供片能力。到2010年左右,我国应有8~12英寸硅单晶、片材和8英寸硅外延片的规模生产能力;更大直径的硅单晶、片材和外延片也应及时布点研制。另外,硅多晶材料生产基地及其相配套的高纯石英、气体和化学试剂等也必需同时给以重视,只有这样,才能逐步改观我国微电子技术的落后局面,进入世界发达国家之林。

5.2GaAs及其有关化合物半导体单晶材料发展建议

GaAs、InP等单晶材料同国外的差距主要表现在拉晶和晶片加工设备落后,没有形成生产能力。相信在国家各部委的统一组织、领导下,并争取企业介入,建立我国自己的研究、开发和生产联合体,取各家之长,分工协作,到2010年赶上世界先进水平是可能的。要达到上述目的,到“十五”末应形成以4英寸单晶为主2-3吨/年的SI-GaAs和3-5吨/年掺杂GaAs、InP单晶和开盒就用晶片的生产能力,以满足我国不断发展的微电子和光电子工业的需术。到2010年,应当实现4英寸GaAs生产线的国产化,并具有满足6英寸线的供片能力。

5.3发展超晶格、量子阱和一维、零维半导体微结构材料的建议

(1)超晶格、量子阱材料从目前我国国力和我们已有的基础出发,应以三基色(超高亮度红、绿和蓝光)材料和光通信材料为主攻方向,并兼顾新一代微电子器件和电路的需求,加强MBE和MOCVD两个基地的建设,引进必要的适合批量生产的工业型MBE和MOCVD设备并着重致力于GaAlAs/GaAs,InGaAlP/InGaP,GaN基蓝绿光材料,InGaAs/InP和InGaAsP/InP等材料体系的实用化研究是当务之急,争取在“十五”末,能满足国内2、3和4英寸GaAs生产线所需要的异质结材料。到2010年,每年能具备至少100万平方英寸MBE和MOCVD微电子和光电子微结构材料的生产能力。达到本世纪初的国际水平。

宽带隙高温半导体材料如SiC,GaN基微电子材料和单晶金刚石薄膜以及ZnO等材料也应择优布点,分别做好研究与开发工作。

半导体论文篇4

1.2固体晶体管

固体电子管具有检波、整流、放大、开关、稳压、信号调制等多种功能。固体晶体管作为一种可变电流开关,能够基于输入电压控制输出电流。与普通机械开关不同,固体晶体管利用电讯好来控制自身的开合,而且开光速度可以非常快,实验室中的切换速度可达100GHz以上。

2半导体串联与并联以及元件安装的各种选择

半导体的串联与并联必须要有耐高压和抗电流冲击能力强以及反应迅速等特性。

2.1串联

晶体管在串联的时候必须考虑均压的问题,每一个元件的参数不同使得元件受压不同,电压过高很可能导致元件被击穿。

2.2并联

元件在并联的时候的要求要比串联的时候要简单,只要开闭电压降及开闭时间等动态特性一致就好了。为了让负载电流均匀地分配于各个元件上,一般来说采用的是在元件上串联均流电阻(用于小容量系统中)或者串联电杆(用于大容量系统中)等方法。

2.3半导体元件安装各种选择

半导体元件工作的时候产生的热量是不是能够有效的向周围介质中放散,和能不能充分发挥半导体元件的能力关系很大。半导体元件的安装位置应该要尽量的避免周围的热源和可能出现的外来高温影响,防止温度超过设计规定要求,从而致使元件恶化。安装在窗口旁边的装置应该要注意防止阳光直射,避免尘埃。控制柜等结构因考虑电源部分的散热或者柜内良好的热对流,经常选用的是顶部多孔板型式,可是这种结构一点都不防尘,这是需要考虑一下安装环境和防尘措施的,还有要加强日常的检查,经常去清洁外部的环境。对半导体元件的冷却方式的选择是相当重要的。随着应用于电力设备和电气化铁道等的半导体元件的大容量化,逐渐有强迫风冷式发展到注油式冷却方法,最近采用的一种叫氟隆的冷却办法。这种方法的一次冷却可以用重力自然循环方式,二次冷却可以用自然对流热传导放式,所以不需要泵和风机,噪音小了维护也容易了,并且冷却效率还高了,能使设备的整体小形化轻量化。半导体在运输的时候也要注意,因为半导体器件和内嵌的元件等运输都必须要遵循和其他电子元件一样的注意情况。用于运输的容器和夹具必须是不会因运输中的晃动等而带有电或者产生静电,使用导电的容器和铝箔等是最有效的措施。为了防止因为人体衣服所带的静电产生的损坏,在处理的过程中必须要通过高电阻让人体接地,从而更好的释放静电。在移动安装了半导体器件的印刷电路板的时候,必须采取防静电的措施。还有在使用传送带移动印刷电路板时,为了避免传送带的橡胶等带电,也要做防止静电的处理。在运输半导体器件和印刷电路板的时候,要注意减少机械的晃动和冲击。

3防止危害

半导体电子器件在开闭动作中会产生高次谐波的电压电流。高次谐波是会造成电力电容器和电抗器等过负荷和过热,严重的会烧损;还会让继电保护动作失误;会对通信电话和电视等产生干扰。因此有效的防止半导体电子器件在应用时产生高次谐波的危害不能轻视。而作为防止危害发生,建议可以采取的措施有,增加整流回路的相数;设置高次谐波滤除器;避免过大的相位控制;由大容量电源系统供电等等。目前国外正在考虑采用的有源滤波器和高次谐波补偿装置等防止措施。半导体电子设备的防干扰和防静电的能力都是比较差的,因为很容易引起错误,所以说,必须要认真对待。涂抹一些带电的防止剂,混连入带电防止剂,改变高分子聚合物的表面层材质,改为含有导体的复合材质,调整相对的湿度等等。实际上对于防止静电的产生还是很困难的一件事,通过防带电措施来急剧减少产生的电荷的办法,是现在正在实际应用中的。静电的产生是跟随着相对的湿度的下降而增大的,特别是在下降到了百分之四十及以下之后,就会突然变得很容易就产生静电了,所以说在冬天的时候,必要要加强采取相应的措施来加湿。因为剥离或者摩擦而产生的静电,是随着接触面的面积和压力以及分离速度的增大而增大的,所以说要避免高速的摩擦和剥离很有必要。

半导体论文篇5

2.1情感目标

从三极管的应用出发,激发学生专业兴趣及热情,学以致用。

2.2知识目标

理解晶体管内部载流子的运动,掌握三极管的放大条件。掌握三极管的电流放大作用、电流分配关系及其特性曲线。

2.3能力目标

教学过程中体现由表及里、兼顾内因和外因、化繁为简等思想培养学生认识事物的能力。通过实验、分析、总结的教学环节培养学生分析问题和解决问题的能力。

3教学重点、难点分析

教学重点是三极管的结构、电流放大条件及其分配关系、特性曲线。教学难点是三极管内部载流子的运动规律。

4教具和方法

教具采用黑板、粉笔、多媒体幻灯片、多媒体视频以及三极管实物辅助教学情景教学法、实验教学法、引导思考教学法、讲解教学法等多种教学方法。

5教学过程设计

5.1导入新课

通过多媒体播放一段视频引出扩音设备,引发学生对新学习课程的兴趣。然后给学生介绍扩音设备的组成和工作原理。通过一个设问“什么样的器件能够实现这样的功能呢”,引出这堂课的教学内容半导体三极管。为了进一步提高学生的学习兴趣和注意力,同时也扩宽学生的知识面,此处加入关于三极管发明的一些知识。

5.2讲授新课

接着给学生演示一些常用的三极管实物,告诉他们正是这些小小的器件实现了电信号的放大,进一步引发学生的学习兴趣。同时结合课件给学生介绍三极管的封装,以及不同封装分别表示的意义,培养学生理论联系实际的能力。根据认识事物由表及里的规律,认识了三极管的外形,下一步给学生介绍三极管的内部结构。结合多媒体课件介绍三极管的结构及其符号,并与学生一起总结出三极管三区、两结、三极的基本构成。提出问题“:三极管犹如两个反向串联的二极管,能否将两个普通的二极管串联起来组成三极管?”引导学生思考并引出对三极管内部具体结构的学习。将三极管的内部结构比喻为汉堡,通过与汉堡的类比加深学生的印象,并告诉学生三极管的这一结构特点正是它能够进行放大的内部条件。那么,具有这种结构特点的三极管就可以进行放大吗?实际上,三极管进行放大除了结构特点为其放大提供了内部条件外,还必须满足一定的外部条件。接着给学生介绍外部条件,正是认识事物需要同时兼顾内因和外因思想的体现。同时当学生对三极管有一个宏观的认识后,下一步学习三极管的工作原理。首先重点强调三极管放大“发射结正偏,集电结反偏”这一外部条件,以及具体电路中如何保证这一条件实现,加深学生对这一条件的记忆。下面介绍这一节课的重点内容,三极管内部电流的分配和放大关系。为了避免枯燥的公式推导,帮助学生直观的理解和掌握三极管内部电流分配关系,在讲台上演示实际的三极管放大电路,通过改变电位器阻值,测得一系列发射极、集电极和基极电流数据。启发学生观察测得的数据,得出三极管三个电流之间的关系。这样繁琐的推导过程被简单直观的实验所代替,体现认识事物由繁琐到简单的客观规律,而学生通过实验和自己观察总结出的结论更容易理解和记忆。同时引导学生体会三极管内部电流的分配关系IE=IC+IB正是基尔霍夫定律的体现,而IC=βIB正是三极管电流放大作用的体现。通过设问“:为什么会出现这种现象呢?”引起学生的思考。透过现象看事物的本质,这一现象是由三极管内部载流子的运动规律决定的。三极管内部载流子的运动规律是这一节课的难点,可以通过多媒体动画直观地演示载流子运动的复杂过程。对照多媒体动画分发射、复合和收集三个阶段给学生介绍这一过程,同时与学生一起推导三极管运动过程中内部电流之间的关系,得出与实验完全吻合的结果。另外,可以再播放一段三极管内部载流子运动的视频,帮助学生回顾和进一步加深理解这一难点内容。

5.3思考与讨论

设计两个思考题:(1)既然三极管具有两个PN结,可否用两个二极管相连以构成一只三极管?(2)放大电路输出端增加的能量是从哪里来的?让学生展开讨论,通过讨论加强学生积极动脑思考问题能力的培养,也进一步加深对所学知识的理解。

5.4小结

通过提问与学生一起总结本次课的内容,并通过板书加深印象。

6教学反思

(1)课堂中通过一段音乐引出扩音系统进而引出新课程三极管的学习,有效地激发了学生的学习兴趣。(2)用实验的方法代替复杂的公式推导,用更直观的实验数据加强学生对三极管电流分配关系的记忆;(3)用直观动态的多媒体视频演示三极管内部载流子的运动过程加强学生的理解,同时也活跃了课程气氛。(4)教学过程中体现了由表及里,兼顾内因和外因,化繁为简等思想,除了注重学生对所讲课程的学习,更注重学生认识事物能力的培养。

半导体论文篇6

1.1有机半导体的概念及其研究历程

什么叫有机半导体呢?众所周知,半导体材料是导电能力介于导体和绝缘体之间的一类材料,这类材料具有独特的功能特性。以硅、锗、砷化嫁、氮化嫁等为代表的半导体材料已经广泛应用于电子元件、高密度信息存储、光电器件等领域。随着人们对物质世界认识的逐步深入,一批具有半导体特性的有机功能材料被开发出来了,并且正尝试应用于传统半导体材料的领域。

在1574年,人们就开始了半导体器件的研究。然而,一直到1947年朗讯(Lueent)科技公司所属贝尔实验室的一个研究小组发明了双极晶体管后,半导体器件物理的研究才有了根本性的突破,从此拉开了人类社会步入电子时代的序幕。在发明晶体管之后,随着硅平面工艺的进步和集成电路的发明,从小规模、中规模集成电路到大规模、超大规模集成电路不断发展,出现了今天这样的以微电子技术为基础的电子信息技术与产业,所以晶体管及其相关的半导体器件成了当今全球市场份额最大的电子工业基础。,半导体在当今社会拥着卓越的地位,而无机半导体又是是半导体家族的重中之重。

1.2有机半导体同无机半导体的区别及其优点

与无机半导体相比,有点半导体具有一定的自身独特性,表现在:

(l)、有机半导体的成膜技术更多、更新,如真空蒸镀,溶液甩膜,Langmtrir一Blodgett(LB)技术,分子自组装技术,从而使制作工艺简单、多样、成本低。利用有机薄膜大规模制备技术,可以制备大面积的器件。

(2)、器件的尺寸能做得更小(分子尺度),集成度更高。分子尺度的减小和集成度的提高意味着操作功率的减小以及运算速度的提高。

(3)、以有机聚合物制成的场效应器件,其电性能可通过对有机分子结构进行适当的修饰(在分子链上接上或截去适当的原子和基团)而得到满意的结果。同时,通过化学或电化学掺杂,有机聚合物的电导率能够在绝缘体(电阻率一10一Qcm)到良导体这样一个很宽的范围内变动。因此,通过掺杂或修饰技术,可以获得理想的导电聚合物。

(4)、有机物易于获得,有机场效应器件的制作工艺也更为简单,它并不要求严格地控制气氛条件和苛刻的纯度要求,因而能有效地降低器件的成本。

(5)、全部由有机材料制备的所谓“全有机”的场效应器件呈现出非常好的柔韧性,而且质量轻。

(6)通过对有机分子结构进行适当的修饰,可以得到不同性能的材料,因此通过对有机半导体材料进行改性就能够使器件的电学性能达到理想的结果。

1.3有机半导体材料分类

有机半导体层是有机半导体器件中最重要的功能层,对于器件的性能起主导作用。所以,有机半导体器件对所用有机半导体材料有两点要求:

(l)、高迁移率;(2)、低本征电导率。

高的迁移率是为了保证器件的开关速度,低的本征电导率是为了尽可能地降低器件的漏电流,从而提高器件的开关比。用作有机半导体器件的有机半导体材料按不同的化学和物理性质主要分为三类:一是高分子聚合物,如烷基取代的聚噬吩;二是低聚物,如咪嗯齐聚物和噬吩齐聚物;三是有机小分子化合物,如并苯类,C6。,金属酞著化合物,蔡,花,电荷转移盐等。

二、制作有机半导体器件的常用技术

有机半导体性能的好坏多数决定于半导体制作过程因此实验制备技术就显得尤为重要。下面将对一些人们常用器件制备的实验技术做简要的介绍:

(1)、真空技术。它是目前制备有机半导体器件最普遍采用的方法之一,主要包括真空镀膜、溅射和有机分子束外延生长(OMBE)技术。

(2)、溶液处理成膜技术。它被认为是制备有机半导体器件最有发展潜力的技术,适用于可溶性的有机半导体材料。常用的溶液处理成膜技术主要包括电化学沉积技术、甩膜技术、铸膜技术、预聚物转化技术、分子自组装技术、印刷技术等。

三、有机半导体器件的场效应现象

为了便于说明有机半导体器件的场效应现象,本文结合有机极性材料制作有机半导体器件对薄膜态有机场效应进行分析。试验中,将有机极性材料经过真空热蒸镀提纯之后溶在DMF溶液中,浓度是20Omg/ml,使用超声波清洗机促进它们充分并且均匀的溶解,经过真空系统中沉积黄金薄膜作为器件的源极和漏极。在类似条件下,在玻璃衬底上制作了极性材料的薄膜形态晶粒,研究发现:

在有机极性材料形态,有块状、树枝状和针状。不同的薄膜态形态,在不同栅极电压VG的作用下有不同的Ids(流过器件的源极和漏极的电流)一Vds(加在器件的源极和漏极之间的电压)曲线。

1、块状形貌结构的薄膜态有机器件的Ids-Vds(性能曲线,变化范围是从-150V到15OV、栅极电压的变化范围是从-200V到200V。当栅极电压Vg以100V的间隔从-200V变化到200V时,Ids随着Vds的增加而增加,此时没有场效应现象。

2、针状形貌结构的薄膜态有机器件的Ids-Vds性能曲线,当Vds从-75V增加到75V,栅极电压VG的变化范围是一200V~20OV,递增幅度是5OV。此时器件具有三种性能规律:(1)在固定的栅极电压Vg下,当从Vds-75V增加到75V时,电流Ids也随之增加;(2)在固定的外加电压Vds下,当栅极电压Vg从-2O0V增加到2OOV时,电流Ids也随之增加;(3)如果没有对器件施加Vds电压,只要栅极电压Vds存在,就会产生Ids电流,产生电池效应。

通过上述的解说我们对有机半导体器件的电学性能已有一定的了解了。下面我们即将通过试验来揭开其神秘的面纱。

四、有机半导体的光电性能探讨——以纳米ZnO线(棒)的光电性能研究为例

近年来,纳米硅的研究引起了社会的广泛的关注,本文中我们将采用场发射系统,测试利用水热法制备的硅基阵列化氧化锌纳米丝的场发射性能。图11是直径为30和100nm两个氧化锌阵列的场发射性能图,其中图11a和b分别是上述两个样品的I_V图和F_N图。从图11a中可以看出氧化锌纳米丝的直径对场发射性能有很大的影响,直径为30nm的氧化锌阵列的开启场强为2V/μm门槛场强为5V/μm;而直径为100nm的氧化锌阵列的开启场强为3V/μm,门槛场强大于7V/μm。并且从图11b中可以知道,ln(J/E2)和1/E的关系近似成线性关系,可知阴极的电子发射与F_N模型吻合很好,表明其发射为场发射,其性能比文献报道的用热蒸发制备的阵列化氧化锌的场发射性能要好[25]。这主要是由于氧化锌的二次生长,导致所得氧化锌阵列由上下两层组成,具有较高的密度以及较小的直径,在电场的作用下,更多的电子更容易从尖端的氧化锌纳米丝发射,从而降低了它们的开启场强和门槛场强。

我们测试了硅基阵列化纳米ZnO的光致荧光谱,如图12所示。从图中可知,600~700℃和300~400℃下热蒸发合成的阵列化ZnO纳米丝的峰位分别在393nm(虚线)及396nm(实线)。PL谱上强烈的紫外光的峰证明:合成的ZnO纳米丝有较好的结晶性能和较少的氧空位缺陷。由于在高温区合成的纳米丝有较细的尖端,故有少量蓝移。

通过上述针对纳米ZnO线(棒)的试验,我们能对硅基一维纳米的电学性能进行了初步的探讨。相信这些工作将为今后的硅基一维纳米材料在光电方面的应用提供一个良好的基础。

参考文献

[1]DuanXF,HuangY,CuiY,etal.Indiumphos-phidenanowiresasbuildingblocksfornanoscaleelectronicandoptoelectronicdevices.Nature,2001.

半导体论文篇7

半导体材料制作的发光二极管--LED,近年来技术上取得了重大突破,白光发光管的发光效率已经达到了荧光灯的水平,08年将达到钠灯的水平。半导体光源节能、长寿命、安全、环保、耐闪烁、色彩多样、调控方便等诸多优点,必将取代传统光源引发照明产业的又一次革命。 由于光效和成本方面的原因,半导体光源目前还不能在大面积白光泛光照明方面和传统高效光源竞争,但是在小功率照明、局部照明、安全照明、闪烁照明、彩色照明等方面具有传统光源难于比拟的优势。 路灯主要是为了照亮路面,属于局部照明。半导体光源之所以适合用于局部照明,是由于LED是个点光源,发光角度便于控制。在生产时也可以制作成各种发光角度的产品,也可以利用反光镜灯方法对光路做进一步的调理。利用特定发广角的光源做局部照明可以使光源发出的光得到更有效的利用,和不便控制发光角度的光源相比,可以用比较小的功率达到满足要求的局部照明效果,因而实现节能。为此,许多企业进行了有益的探索,使半导体路灯逐渐实用化。但是,从近几届照明方面的展会上看,许多企业展出的LED路灯根本没有考虑和利用LED的特点,做出来的路灯仅仅是点亮了而已,根本谈不上照明效果和节能效果。为此本文以90瓦的半导体路灯为例介绍半导体路灯的结构特点和实现方案,以供相关企业研制产品时参考。 做好半导体路灯的基本思路: 做LED路灯首先要考虑照射范围。路灯要求的是路面照明效果,照空中和路边的空地不是路灯的任务。因此,要用多种角度组合的发光管或者用反光镜的方法有效的控制光线的分布范围,使发光管发出的光成为一个长条形光带沿路面方向铺展,实践证明,这样制作的半导体路灯90瓦左右的功率就能超过250瓦纳灯对路面的照明效果,节能效果显著。 要做好半导体路灯首先要合理的选用发光管。一般来说,做半导体路灯既可以选用小功率发光管,也可以选用大功率发光管。但是,实践证明,小功率发光管虽然有发光器件成本低的优势,但是,其光衰却比大功率发光管快,并且用的管数太多,装配麻烦,综合考虑,选用大功率发光管比较合理。从目前大功率发光管的技术水平来看,1瓦管光效比较高,用于照明节能优势明显。和1瓦的发光管相比,3瓦的发光管光效低于1瓦管,同等光通量下价格优势也不明显,目前选用1瓦管做路灯光源更为合理。 半导体光源结构上和光学特性上有自身的特点,因此,半导体路灯应该按照这些特点设计灯具,用传统灯具外壳换个半导体灯的灯芯是做不出好半导体灯的。半导体路灯结构设计上要解决好的问题是灯体外部造型,发光管的安装、照射范围的调整、发光管的散热、灯体的密封。同时,所设计的灯体结构还要有利于大批量工业生产。 用1瓦的发光管做灯发光管的安装比较简单,如果选用的驱动器是隔离结构的,发光管的底座和管芯也是绝缘的,只要把发光管固定在散热器上就可以了。但是,如果使用的是不隔离结构的驱动器,发光管和散热器之间的绝缘处理就比较严格,要能达到一定的安全标准。绝缘和导热常常是矛盾的,良好的绝缘结构往往对散热不利。因此,建议选用隔离型驱动器驱动发光管。 照射范围的调整是做好半导体灯的重要环节。为了有效的利用光线,应该发挥发光管照射方向便于调控的优势,使发光管发出的光形成一条光带铺在路面上,而不要在无效方向上散射。要做到这一点,结构上最简单的办法是用多种角度的发光管组合,或者用反光镜、透镜的方法控制照射角度,分别兼顾不同的照射距离。比如,用发光角60度、30度、15度的三种发光管组合,分别用于照射附近、中、远距离路面的照明,使发光管输出的光均匀的覆盖两盏灯之间的半距离路面,覆盖宽度基本上和路面宽度吻合,这样就可以用比较小的功率有效的照明道路。使之实现最佳照明效果。要达到这样的照明效果,发光管的安装角度必须合理。 发光管的散热是半导体灯要重点解决好的问题。发光管是冷光源,不象白炽灯那样产生灼热的高温,但是,发光管本身耐温能力比较差,所以必须将发光管工作时产生的热量有效的散发到空气中去,保证发光管工作在安全的温度下,这样半导体灯才能真正的体现出长寿命的优势。 发光管的管芯和白光发光管涂覆的荧光粉都是在几百度的高温条件下生产出来的,本身有一定的耐温能力。但是,发光管的管壳和管芯之间存在热阻,这个热阻使发光管在使用时管壳和管芯之间出现温差,管芯的温度会高于外壳温度。目前发光管外部封装的材料主要是有机材料,在高温下容易老化。这会影响发

半导体论文篇8

0 引言

半导体物理学是研究半导体的基本物理性质、晶体结构和结合以及研究方法的科学。其内容涉半导体中的电子状态即能带结构、杂质和缺陷的影响、电子在外电场和外磁场作用下的输运过程、半导体的光电和热电效应、半导体的表面结构和性质、半导体与金属或不同类型半导体接触时界面的性质和所发生的过程、各种半导体器件的作用机理和制造工艺等[1-4]。从上面列举的半导体物理学研究内容可以看出,半导体物理学是一门理论与实践密切相关的课程。研究半导体中的电子状态是以固体电子论为基础,但是由于学时所限,在半导体物理学的教学过程中这些有关理论不可能像固体物理学中讲述得那样系统和详细,加之学生知识基础不一,这些理论知识的讲授一直是教师难教,学生难学的教学难点之一。因此怎么讲授这些内容是一个非常值得探讨的问题。文献[5]提出好的板书有助于教师阐述和讲解教学内容,使学生容易接受。文献[6]提出精心设计的板书不仅能够锻炼学生的主动思考能力,培养他们的逻辑思维,还能降低双语教学的语言障碍,从而大大提高课堂教学的质量与效率。文献[7-8]提出了板书与多媒体相结合的教学方式以确保提高课堂教学质量。文献[9]提出板书的两种方法:对比板书和归纳推理板书。文献[10]总结了物理课堂教学中的四种板书形式:“要点式”、“结构式”、“表格式”和“框图式”。文献[11]讨论了板书的四种组织形式:大纲式、问题式、比较式和复结式。

本文首先提出了“点-线-面”的板书设计思路,然后举例说明,最后总结“点-线-面”的板书设计思路的教学效果。

1 板书设计思路

针对半导体物理知识的特点,为了让学生能通过直观的板书明白半导体物理知识,因此本文提出“点-线-面”的板书设计思路。“点-线-面”的板书设计思路分三个步骤,分别是知识“点”分解、形成知识“线”和板“面”规划。

步骤一:知识“点”分解

半导体物理涉及很多理论知识,比如能带理论,复合理论等等;这些理论又由若干知识点组成,比如直接复合理论包括热平衡状态和非平衡状态两个知识点,热平衡状态又包括产生过程和复合过程两个知识点等等。因此本文的板书设计思路首先是分解出所有的知识“点”。

步骤二:形成知识“线”

所谓知识线,就是把各知识点按一定的内在联系串联起来,形成基本线索。因此首先要弄清各知识点的前因后果,来龙去脉,从而得到知识点之间的逻辑关系,形成知识“线”。

步骤三:板“面”规划

板“面”规划是根据黑板的大小和知识点的多少,规划出需要的板面数,然后在黑板上给知识点设计合理的位置。

2 板书设计举例

本文以非平衡载流子直接复合理论进行板书设计举例,具体步骤如下:

步骤一:知识“点”分解

非平衡载流子直接复合理论中可以分解出以下的知识点:产生率、复合率、净复合率、非平衡载流子的寿命、小注入条件、大注入条件、型半导体、型半导体等。

步骤二:形成知识“线”

在以上的知识点中可以形成一条知识“线”,首先由直接复合理论引出产生率和复合率两个知识点,然后由这两个知识点引出净复合率知识点,接着净复合率引出非平衡载流子的寿命知识点,再接着引入小注入条件和大注入条件两个知识点对非平衡载流子的寿命进行分类,从而把这些知识点串在一起形成了知识“线”。

步骤三:板“面”规划

教室的黑板为两块1米?米的可以上线滑动的黑板,由于每个知识点都包含公式表达式,知识点的长度比宽度大,如果采取从左到右的方法板书知识“线”,则长度不够,如果采取从上到下板书知识“线”,两块黑板合并使用的话,则只需2米?米的空间就能完成板书,具体的板书如图1:

3 教学效果

通过在课堂教学采用“点-线-面”的板书设计思路,对于复杂理论知识,老师容易讲明白,学生容易理解和记忆,具体的教学效果表现如下:(1)学生在课堂中更加活跃。采用“点-线-面”的板书设计思路教学后,学生在课堂中积极参与到知识点的分解和知识线的梳理中来,有个别同学还能针对老师的板书提出自己的知识点分解和知识线梳理思路,给老师很好的启发。(2)学生在课后的学习和讨论也更加多。学生在课堂中学习了“点-线-面”的知识图后,课后的学习更加积极,同学之间的讨论也更加多,甚至有同学提前分析下一次课的知识图。

4 结束语

半导体物理学是一门介于理论与实践之间的课,由于它的理论性,导致老师难教,学生难学。本文针对半导体物理知识的特点,为了让学生能通过直观的板书明白半导体物理知识,提出了“点-线-面”的板书设计思路。“点-线-面”的板书设计思路分三个步骤,分别是知识“点”分解、形成知识“线”和板“面”规划。通过在教学中采用“点-线-面”的板书设计思路,对于复杂理论知识,老师容易讲清楚,学生也容易理解和记忆,收到了很好的教学效果。

参考文献

[1] 沈伟东,刘旭,朱勇,等.用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度[J].半导体学报,2005(2):335-340.

[2] 唐莹,孙一翎,李万清.MATLAB在半导体课程教学中的应用[J].长春理工大学学报(高教版),2009(10):126-127.

[3] 孙连亮,李树深,张荣,等.半导体物理研究新进展[J].半导体学报,2003(10):1115-1119.

[4] 江锡顺.提高应用型本科院校半导体物理教学质量的方法研究[J].滁州学院学报,2011(5):110-111.

[5] 何根基.物理教学中板书设计的艺术[J].萍乡高等专科学校学报,2001(4):35-39.

[6] 潘娜娜,潘宇.板书在大学物理双语教学中的应用[J].科教文汇(上旬刊),2012(1):111-112.

[7] 王高峰,赵增茹.现代多媒体和传统板书相结合的大学物理教学模式[J].科技信息,2012(35):237.

[8] 郑世燕.板书与多媒体相结合的大学物理教学模式[J].甘肃联合大学学报(自然科学版),2009(S1):48-49.

半导体论文篇9

随着信息时代的发展,对光电子专业类人才的需求也越来越大。大学教育作为培养人才的重要基地,承担了越来越重要的角色;向社会输送高素质的人才,要求对光电子专业课程体系教学不断更新改革,赋予其新时代的内涵。目前,还没有一本合适的教材能满足这个要求。另外,在教学方法上也缺乏行之有效的方法。

1 课程内容的构建

半导体材料与器件这门课,应该涉及到半导体材料与半导体器件两个方面的内容,现有的教材在内容构建上往往偏重半导体材料,或是偏重半导体器件,很少能兼顾两者的材料与器件的平衡。图1为现有邓志杰等编的《半导体材料》的内容构建示意图,明显偏重于材料,对器件部分只做了简单的概述,如图1所示。类似的教材还有杨树人等编的《半导体材料》。由刘思科等编的《半导体物理学》这门课则大篇幅的介绍半导体物理相关的知识,而对半导体材料涉及较少。同样,由Dieter K. Schroder 编写的《Semiconductor Material and Device Characterization, Third Edition》则大部分内容介绍器件特性,而对材料方面的相关知识介绍很少。同样,佛罗里达大学的Franky So教授编著的《Organic Electronics Materials Processing Devices and Applications》则侧重于器件加工制备,Robert F. Pierret等编著的《Semiconductor Device Fundamentals》则侧重于器件特性原理。

基于此,本人提出了全新的内容构建策略,该策略同时兼顾了半导体材料与半导体器件两个方面的内容。该策略结构示意图如图2所示,其内容分半导体材料与半导体器件两个部分,其中半导体材料包含:元素半导体、化合物半导体、掺杂半导体和有机半导体,半导体器件部分包含三个部分的内容,分别是器件基础、二极管、三极管。

对比图1、图2不难看出,新编排的课程内容更简洁、更全面。其实,现有材料的课程内容编排上有很多的弊端,如知识点内容很相似,交叉重叠性大。如元素半导体,半导体电子材料、半导体光电子材料,在内容上有很大的交叠;非晶、有机和微结构半导体与掺杂半导体有很大的重叠,所以在新方案中将其并入掺杂半导体一章中来讲解,而前者并入到半导体一章中来讲解。可以看出,新方案更合理、简洁明了。

半导体材料与器件这么课程,其内容应该包含经典的无机半导体、新型有机半导体;器件内容应该包含经典的二极管、栅控二极管、三级管、结型场效应晶体管。其中,二极管的两个重要应用,即光伏电池、发光二极管、二极管存储器件,应该作为一个重要的章节进行介绍。

2 课程内容的组织

在课程内容的组织上,按照由易到难、循序渐进的原则,以及材料-性质-器件应用的原则,先编排材料体系,后编排器件体系。材料体系包含:有本征的p-型材料、n-型材料,非本征掺杂型的p-型材料、n-型材料,以及新型有机半导体材料,包含宽带隙主体材料、窄带隙材料。从材料最基本的物理特性,即电阻切入,围绕电阻的构成因素展开内容,过渡到绝缘体、半导体、导体的概念,以及影响因素,引入到载流子浓度、掺杂、迁移率等概念,即本征的元素半导体向化合型、掺杂型半导体的思路展开。在引入材料的功函数这一概念的基础上,引入接触电阻、界面注入势垒,沿着这一思路自然过渡到肖特基二极管,栅控二极管、三级管等基本的半导体器件等系列概念介绍。该课程内容体系的组织,遵循着从基础性质到上层器件建设的原则,系统性、逻辑性很强,可以说是环环相扣,要求学生在学习的过程中,任何一个章节的内容都不能落下来,以避免给后继的内容学习造成困难。同时,该课程也要求授课老师对课程体系的内容有深刻的理解和清楚的认识,做到思路清晰,讲解有条有理。

3 课程内容的编译

依照双语教学的原则,教材应该采用全英文编写。以往的双语教学经验表明,全英语的教材实施起来很困难,教学效果甚微,甚至比纯母语教学的效果更差。原因很简单,部分学生的外语底子薄,阅读纯英文课本很困难,尤其是专业英语教材,碰到长句、疑难复合句看不懂,专业名词更是不懂,甚至凭借网络翻译也找不到答案。确实,专业名词,尤其是半导体这门课的专业名词的翻译是比较少的。另外,有部分名词是用构词法得到的,词典里根本没有收录。这部分学生常常抱怨,中文都看不懂,还看什么英文啊!结果可想而知,什么都没学到,还不如采用中文版教材教学呢。

鉴于一门新课教材全部用英文编写的困难,可以部分章节采用中文编写,部分章节采用英文编写。对于构成半导体学科的三个基础理论,如肖特基理论、半导体能带理论、半导体导电机理、扩散理论,采用中英文对照的形式,以便于学生理解、掌握知识点。对于半导体特有的五大特性,如整流效应、光电导效应、负电阻温度效应、光生伏特效应和霍尔效应,应做详细介绍;对于重要现象的发现,如霍尔效应,可以在教材中添加“知识园地”,以增强学生学习兴趣、掌握知识点。方便学生自学。

对于半导体材料部分,如元素半导体、化合物半导体、掺杂半导体、有机半导体,可以采用中文的形式撰写。其中,元素半导体这一章内容比较难,涉及到原子在固态堆积中的排列,即晶体类型、晶格、晶胞结构等,用中文撰写更便于学生理解。同时,配合适当晶体结构模型,如经典的正四面体结构、面心立方结构、体心结构、六方体心结构、八面体结构模型,来剖析材料的微观结构特征。并且,这部分内容要求学生有一定的背景知识,如对物质结构这门课有初步的认识。接下来的两章,如化合物半导体、掺杂半导体,可以简化材料凝聚态结构的介绍。因为这两类半导体材料分子堆积结构与元素半导体类似,只是一个衍生结构。所以这两章的内容重点介绍化合方式以及掺杂形式。对于有机半导体,可以借鉴经典的元素半导体理论,所以结构部分可以简化,重在介绍有机半导体材料,包含其组成、特性与经典的制备方法。

对于半导体器件部分,其器件基础应该加以重点介绍,对于常见的半导体器件特性效应加以详细的描述,采用地道的英语教材,如Arizona State University大学的Dieter K. Schroder.编写的《Semiconductor Material and Device Characterization, Third Edition》里面的第一、二、三、四章部分内容。该教材系统阐述了半导体材料一些基本特性,如电阻率、载流子密度、掺杂、迁移率、公函、接触电阻及界面势垒。重点内容有Schottky barrier diodes,solar cell, bipolar junction transistors, light-emitting diodes, MOSFETs。

4 结论

本文针对半导体材料与器件这门课程的内容建设提出了全新的思路,重新编排了该课程内容,优化了课程内容的内涵,调整了半导体材料与半导体器件这两方面的内容比例,使内容的组织更平衡、更合理,并对课程内容的编译提出了新的思路,采用中英文对照使得知识点的阐述更清楚、母语教学更便捷,这将为电子类专业课程的双语教学提供新的参考。

【参考文献】

半导体论文篇10

半导体物理学是以半导体中原子状态和电子状态以及各种半导体器件内部电子运动过程为研究对象的学科,是固体物理的一个重要组成部分,凝聚态物理的一个活跃分支[1]。半导体物理学是一门公认的难教、难学的课程,为了提高半导体物理学的教学质量,相关院校的教师们提出了许多有益的建议和有效的方法,如类比学习法[2]、多媒体教学法、市场导向法[3]等。基于提高课堂效率、改善半导体物理学课程的教学效果的目标,作者在乐山师范学院材料科学工程专业(光伏方向)的半导体物理学的教学中,对传统的课堂教学模式进行改革,在半导体物理学的课堂教学中采用“学案导学”教学模式,该文就“学案导学”教学模式在乐山师范学院材料科学工程专业(光伏方向)的半导体物理学课程教学实践作一简述,供同行参考。

1 半导体物理学课程教学模式改革的必要性和迫切性

传统半导体物理学的主要内容包含半导体的晶格结构、半导体中的电子状态、杂质和缺陷能级、载流子的统计分布、非平衡载流子及载流子的运动规律、p―n结、异质结、金属半导体接触、表面及MIS结构等半导体表面和界面问题以及半导体的光、热、磁、压阻等物理现象[4]。但是近年来半导体物理发展迅猛,新现象、新理论、新的研究领域不断涌现。上世纪50~60年代,属于以固体能带理论、晶格动力学理论、金属―半导体接触理论、p-n结理论和隧道效应理论为主的晶态半导体物理时代;70~80年代则形成半导体超晶格物理、半导体表面物理和非晶态半导体物理三足鼎立的格局;90 年代以后,随着多孔硅、C60以及碳纳米管、纳米团簇、量子线与量子点微结构的兴起,纳米半导体物理的研究开始出现并深化;现在,以GaN为主的第三代半导体、有机聚合物半导体、光子带隙晶体以及自旋电子学的研究,使半导体物理研究进入一个新的里程[5]。

半导体物理学是材料科学工程专业(光伏方向)的核心专业课程,是太阳能电池原理等后续专业课程的基础。它是一门理论性较强同时又和实践密切结合的课程。要透彻学习半导体物理学,既要求有较强的数学功底,熟悉微积分和数理方程;又要求有深厚的物理理论基础,需要原子物理、统计物理、量子力学、固体物理等前置课程作为理论基础。由于材料科学工程(光伏方向)培养目标侧重于培养光伏工程专业技术人才,而不是学术型的研究人才,在课程设置方面有自己的独特要求,学生在学习半导体物理之前,没有系统学习过数学物理方程、量子力学、固体物体、统计物理等专业课程,所以理论基础极其薄弱,这给该门课程的教学带来极大的困难和挑战。而且半导体物理的理论深奥,概念多,公式多,涉及知识范围广,理论推导复杂,沿用“教师讲学生听”的传统课堂教学模式,学生学习兴趣不高,直接的结果就是课程教学质量较低,教学效果不好,学生学习普遍被动。面对发展迅猛的半导体物理和目前教学现状,如果不对“教师讲、学生听”的半导体物理学的课堂教学模式进行改革,难以跟上形势的发展。为此教师要在半导体物理学教学中采用了“学案导学”教学模式。

2 “学案导学”导学教学模式在半导体物理课程教学中的实施过程

“学案导学”教学模式由“学、教、练、评”四个模块构成。“学”,就是学生根据教师出示的教学目标、教学重点、教学难点,通过自学掌握所学内容。“教”,就是教师讲重点、难点、讲思路等。“练”,就是通过课堂训练和课后练习相结合,检验学习效果。“评”,就是通过教师点评方式矫正错误,总结方法,揭示规律。“学案导学”教学模式相对于传统教学模式的改革绝不是一蹴而就的课堂教学形式的简单改变,而是一项复杂的系统工程,包括教学模式的总体目标确定、教学内容的重新构建、导学案的编写、课堂教学过程的实施。

2.1 半导体物理学“学案导学”教学模式总体目标的确定

半导体物理学课堂教学模式创新的总体目标是:以材料科学工程专业(光伏方向)人才培养方案和半导体物理学课程教学大纲依据,以学生为主体,以训练为主线,以培养学生的思维方式、创新精神和实践能力为根本宗旨,倡导自主、合作、探究的新型学习方式,构建自主高效的课堂教学模式;注重学生的主体参与,体现课堂的师生互动和生生互动,关注学生的兴趣、动机、情感和态度,突出学生的思维开发和能力培养;针对学生的不同需求,实行差异化教学,面向全体,分层实施。

2.2 根据人才培养方案构建合理有效的教学内容

半导体物理学的教材种类较多,经典教材包括:黄昆、谢希德主编的《半导体物理》(科学出版社出版);叶修良主编《半导体物理学》(高等教育出版社出版);刘恩科、朱秉生主编《半导体物理学》(电子工业出版社出版)。该校教研组经过认真分析,选择刘恩科主编的《半导体物理学》第7版作为教材,该书内容极其丰富,全书共分13章,前五章主要讲解晶体半导体的结构、电子的能带、载流子的统计分布、半导体的导电性、非平衡载流子理论等基础知识,第6章讲PN结理论,第7章讲金属和半导体的接触性能、第8章讲半导体的表面理论、第9章讲半导体的异质结构,第10、11、12章讲解半导体的光学性质、热电性质、磁和压电效应,第13章讲解非晶态半导体的结构和性质;该教材理论性很强,有很多繁杂的数学推导,要真正掌握教材所讲内容,需要深厚的数学功底和物理理论功底。该校材料科学工程专业(光伏方向)立足于培养光伏工程的应用型人才,学生理论功底较为薄弱,故我们对理论推导不做过高的要求,但对推导的结果要形成定性的理解。具体要求学生掌握半导体物理学的基本理论、晶体半导体材料的基本结构、半导体材料基本参数的测定方法。根据人才培养方案的要求,我们确定的主要理论教学内容有:(1)半导体中的电子状态;(2)半导体中的杂质和缺陷能级;(3)半导体中载流子的统计分布;(4)半导体的导电性;(5)非平衡载流子理论;(6)PN节;(7)金属和半导体接触;(8)半导体表面理论。对半导体的光学性质、热电性质、磁和压电效应以及非晶态半导体不做要求。在课程实践方面我们开设四个实验:(1)半导体载流子浓度的测定;(2)少数载流子寿命的测量;(3)多晶硅和单晶硅电阻率的测量;(4)PN节正向特性的研究和应用。

2.3 立足学生实际精心编写导学案

“导学案”是我们指导学生自主学习的纲领性文件,对每个教学内容都精心编写了“导学案”。“导学案”主要包括每章节的主要内容、课程重点、课程难点、基本概念、基本要求、思考题等六个方面的内容。以“半导体中的电子状态”为例,我们编写的导学案如下:

2.3.1 本节主要内容

原子中的电子状态:

(1)玻耳的氢原子理论;(2)玻耳氢原子理论的意义;(3)氢原子能级公式及玻耳氢原子轨道半径;(4)索末菲对玻耳理论的发展;(5)量子力学对半经典理论的修正;(6)原子能级的简并度。

晶体中的电子状态:

(1)电子共有化运动;(2)电子共有化运动使能级分裂为能带。

半导体硅、锗晶体的能带:

(1)硅、锗原子的电子结构;(2)硅、锗晶体能带的形成;(3)半导体(硅、锗)的能带特点

2.3.2 课程重点

(1)氢原子能级公式,氢原子第一玻耳轨道半径,这两个公式还可用于类氢原子。(今后用到)

(2)量子力学认为微观粒子(如电子)的运动须用波函数来描述,经典意义上的轨道实质上是电子出现几率最大的地方。电子的状态可用四个量子数表示。

(3)晶体形成能带的原因是由于电子共有化运动。

(4)半导体(硅、锗)能带的特点:

①存在轨道杂化,失去能级与能带的对应关系。杂化后能带重新分开为上能带和下能带,上能带称为导带,下能带称为价带。

②低温下,价带填满电子,导带全空,高温下价带中的一部分电子跃迁到导带,使晶体呈现弱导电性。

③导带与价带间的能隙(Energy gap)称为禁带(forbidden band),禁带宽度取决于晶体种类、晶体结构及温度。

④当原子数很大时,导带、价带内能级密度很大,可以认为能级准连续。

课程难点:原子能级的简并度为(2l+1),若记入自旋,简并度为2(2l+1);注意一点,原子是不能简并的。

基本概念:电子共有化运动是指原子组成晶体后,由于原子壳层的交叠,电子不再局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到另一个原子上去。因而,电子将可以在整个晶体中运动,这种运动称为电子的共有化运动。但须注意,因为各原子中相似壳层上的电子才有相同的能量,电子只能在相似壳层中转移。

基本要求:掌握氢原子能级公式和氢原子轨道半径公式;掌握能带形成的原因及电子共有化运动的特点;掌握硅、锗能带的特点。

思考题:(1)原子中的电子和晶体中电子受势场作用情况以及运动情况有何不同,原子中内层电子和外层电子参与共有化运动有何不同。(2)晶体体积的大小对能级和能带有什么影响。

2.4 以学生为主体组织课堂教学

在每次上课的前一周,我们将下周要学习的内容的导学案印发给学生,人手一份,让学生按照导学案的要求先在课余时间提前预习,对一些基本概念要有初步的理解,对该课内容要形成基本的认识。比如,我们在学习“半导体中的电子状态”这一内容时,要求学生通过预习要清楚:孤立原子中的电子所处的状态是怎样的;晶体中的原子状态又是怎样的;半导体硅、锗的能带有何特点。在课堂教学中我们的教学组织程序是一问、二讨论、三讲解、四总结。一问,是指通过提问,抽取个别同学回答问题,了解学生的自主学习情况。二讨论是指让同学们就教师提出的问题开展自主深入的讨论。例如就晶体中电子的状态这一问题,让学生讨论什么是共有化运动;电子的共有化远动是如何产生的;电子的共有化运动有何特征;电子的共有化运动如何使能级分裂为能带。让学生畅所欲言,充分发表自己的意见,教师认真聆听,发现学生的错误认识,为下一步的讲解做好准备。三讲解是指就三个方面的知识进行讲解,其一是就学生讨论过程中的错误认识和错误观点及时的纠正;其二是对学生不具备的理论知识进行补充讲解,例如学生不具备量子力学基础,就要给学生补充讲解量子力学认为微观粒子(如电子)的运动须用波函数来描述,经典意义上的轨道实质上是电子出现几率最大的地方,电子的状态可用四个量子数表示;其三是就难点进行讲解,比如原子能级的简并度,学生理解起来较为困难,就需要教师深入细致地讲解;四总结就是归纳本堂课要掌握的重点知识,那些基本概念必须掌握,那些基本公式必须会应用。

3 “学案导学”教学模式在半导体物理课程教学中有效性的评价

在乐山师范学院材料科学工程专业(光伏方向)的2011级、2012级三个班半导体物理学的教学中,采用“学案导学”教学模式,取得了良好的教学效果。这体现在以下三个方面:一,学生养成了在课前自主学习的良好习惯,在课堂上积极参与讨论,活跃了思维,激发了学生的学习热情;二,学生带着问题上课,澄清了很多模糊的认识,极大地提高了学习效率;三,从考试成绩看,优秀率和合格率大幅度提高,表明学生对半导体物理学的基本理论、对半导体材料的基本特性、对半导体材料参数的测试方法均有较好的掌握。这说明学案导学教学模式在半导体物理学的教学中是成功的。

参考文献

[1] 马,孙一翎,沈为民.“半导体物理”重点课程建设与教学探讨[J].科技信息,2009(5).

[2] 江锡顺.提高应用型本科院校半导体物理教学质量的方法研究[J].滁州学院学,2011,13(5).

半导体论文篇11

中图分类号:G642.0 文献标识码:A 文章编号:1007-0079(2013)34-0085-02

半导体物理是半导体科学的理论基础,是电子科学与技术、微电子学等专业重要的专业基础课,其教学质量直接关系到后续课程的学习效果以及学生未来的就业和发展。然而,由于半导体物理的学科性很强,理论较为深奥,涉及知识点多,理论推导繁琐,学生在学习的过程中存在一定的难度。因此,授课教师必须在充分理解半导体物理,熟悉半导体工艺和集成电路设计的基础上,结合教学实际中存在的问题,优化整合教学内容,丰富教学手段,探索教学改革措施,培养学生的学习兴趣,提高半导体物理课程的教学质量。

一、半导体物理课程特点及教学中存在的主要问题

郑州轻工业学院采用的教材为刘恩科主编的《半导体物理学》(第七版,电子工业出版社),该教材是电子科学与技术类专业精品教材。[1]结合教材特点与教学实践,半导体物理课程教学过程中存在的主要问题与不足[2]可归纳如下:

1.教材内容知识点多,理论性强

半导体物理课程前五章为理论基础部分,主要讲述了半导体中的电子状态、杂质和缺陷能级、载流子的统计分布、半导体的导电性与非平衡载流子,在此基础上阐述了电子有效质量、费米能级、迁移率、非平衡载流子寿命等基本概念;分析了状态密度、分布函数、载流子浓度以及迁移率与杂质浓度、温度的关系。课程涉及理论知识较深,易混淆知识点较多,数学公式推导复杂,很多基本概念及数学公式要求学生掌握量子力学、固体物理、热力学统计物理和高等数学等多门基础学科的理论知识。因此,学生在前期学习中,在相关知识点上难以衔接,对相关理论的掌握存在一定困难。

2.传统教学模式难以理论联系实际

半导体物理课程后八章主要介绍了半导体基本器件的结构与性能,半导体的光、电、热、磁等基本性质。如pn结电流电压特性及电容、击穿电压与隧道效应、肖特基接触与欧姆接触;半导体表面与MIS结构、表面电场对pn结性能的影响;半导体异质结构及半导体激光器等。由于这部分内容主要阐述半导体的实际应用,仅仅从课本上学习相关知识,难以理论联系实际,对于没有接触过半导体制备工艺的学生而言,就会觉得内容枯燥,课堂乏味。

3.教材内容无法追踪科技前沿

现代半导体技术日新月异,发展迅速,例如在半导体照明、半导体激光器、探测器、太阳能电池等领域都获得了重大研究成果,研究领域不断拓展,新的理论不断涌现,与化学、医学、生物等学科之间的交叉和渗透越来越强,极大地丰富了半导体物理的教学内容。而半导体物理教材内容的更新相对较慢,因此,如何在有限的课时内既要讲授教材内容,又要穿插相关科技前沿是一个值得深入探讨的问题。

二、半导体物理课程教学改革措施

基于以上分析,半导体物理课程对授课教师要求较高,如何在有限的课堂教学过程中将大量的知识讲解清楚,需要教师积极探索新的教学模式,针对课程特点与教学现状,通过不断实践克服存在的问题与不足,采用多样化的教学手段,优化整合教学内容,狠抓教学环节,使学生较好地理解并掌握相关知识,为后续课程的学习打下良好的基础。[3]

1.优化整合教学内容

由于现代半导体技术发展极为迅速,研究方向不断拓展,相关知识更新较快。因此,授课教师应与时俱进,关注科技前沿与研究热点,合理安排教学内容。结合电子科学与技术专业其它课程的教学内容,在保持课程知识结构与整体系统性的同时,对教学内容进行合理取舍,压缩与其他课程重叠的内容,删除教材中相对陈旧的知识,密切跟踪科技前沿与研究热点,适当增加新的理论,补充重要的半导体技术发展史,激发学生的学习热情,培养学生的科学精神。例如压缩教材中第一章固体物理课程已经详细讲解过的能带理论内容,将授课时间由原来的8学时压缩至6学时;在讲解半导体光学特性时,结合半导体光电子学的研究前沿,增加该部分内容所涉及的研究领域与最新技术,如半导体超晶格、量子阱等方面的内容;在讲述MIS结构的C-V特性时,补充C-V特性的研究意义,介绍半导体表面特性对集成芯片性能的影响,鼓励学生查阅总结利用C-V特性研究半导体表面的方法;在讲授半导体元器件的结构及性能时,适当补充半导体器件的制备工艺,播放一些半导体器件的制备视频,让学生结合某种半导体器件分析其结构与性能;在讲解半导体异质结构时,先让学生了解pn结种类,然后对比同质结与异质结的异同,最后让学生掌握异质结的电流电压特性,通过增加半导体激光器的发展史,即从第一支同质结半导体激光器只能在低温下发射脉冲激光到现在的异质结激光器的优异性能,让学生充分认识到半导体物理是现代半导体技术发展的理论基础,是科技创新的力量源泉。通过介绍科技前沿与研究热点,指导学生查阅相关文献,扩大学生的知识面,提高学生学习的积极主动性。

2.突出重点,分化难点,强调基本概念与物理模型

半导体物理课程涉及到的基本概念和物理模型较多,仅凭教材中的定义理解这些概念和模型,学生很难完全掌握。在讲解深奥的物理模型时,教师应运用恰当的类比,通过生动形象的事例对比分析,加深学生对物理模型的理解,增加学生的学习兴趣。例如教材中半导体载流子浓度的计算既是难点又是重点,学习中涉及到状态密度、玻尔兹曼分布函数、费密分布函数以及载流子浓度等为较容易混淆的概念。为了帮助学生理解,教师可以通过教学楼里面的学生人数与半导体中的电子数目进行类比:不同楼层的教室对应不同的能带,教室座位数对应能态的数目,教室的学生人数就相当于半导体中的电子数目,这样,计算半导体电子浓度的问题就与计算教室单位空间内学生人数的问题非常类似。通过这种生动形象的类比,学生很容易明白半导体中的能态密度就相当于教室单位空间的座位数,而半导体中的电子在能级上的占据几率就对应于教室内学生的入座情况。半导体中的电子在能级上的占据概率需要满足波尔兹曼分布函数或费米分布函数,而分布函数的确定取决于费米能级的位置,当分布函数确定后,单位能量间隔内的电子数目就可以通过简单的微积分计算出来。

另外,半导体物理课程中理论推导和数学上的近似处理较多,繁琐的公式推导增加了学生对物理模型的理解。如果教师在教学过程中能适当地把物理模型和公式推导分开,正确处理两者之间的关系,分别从物理和数学两方面寻找攻克这些难点的途径,使学生在彻底理解物理模型的基础上掌握理论推导。例如教材中有关n型半导体载流子浓度的内容安排如下:首先根据杂质半导体的电中性条件,推导出一个包含费米能的表达式,然后根据杂质电离情况分为低温弱电离区、中间电离区、强电离区、过渡区以及高温本征激发区,最后再根据不同电离区的特点进行讨论与近似处理。所涉及到的物理模型相对简单,但分区讨论和近似处理部分篇幅较长。如果运用传统教学模式,学生很容易沉浸在复杂的数学公式推导之中,难以透彻理解物理模型。如果教师在授课过程中先让学生了解该部分内容的整体安排,理解物理模型,再分析各温区的主要特点,最后总结规律,通过数学推导得出结论,就能很好地提高教学效果。

3.温故知新,适时比较,加强各章节之间的联系

对于课堂上刚刚讲授过的知识,学生并不一定能够完全掌握,此时教师应该结合半导体物理课程的特点,在教学过程中做到温故知新,适时比较,加强不同章节之间知识点的联系。例如pn结是半导体器件的基本单元,如日常生活中常见的激光器、LED、整流器、调制器、探测器、太阳能电池等。在讲授该章内容时,如果教师以pn结为主线将教材中不同章节之间的内容有机联系起来,学生就会从整体上进一步了解半导体物理课程的教学内容。只有在教学过程中不断加强各章节知识点之间的联系,学生才能完全掌握半导体器件的基本原理,为以后从事半导体行业打下坚实的基础。再如所选教材中有关半导体载流子浓度的计算,分为非简并半导体和简并半导体两种情况。在讲述后者时,教师通过对比分析非简并半导体和简并半导体在概念上有何异同,再引导学生比较简并半导体与非简并半导体载流子浓度的计算公式,学生就会意识到二者的主要区别就是分布函数不同,在计算简并半导体载流子浓度时,虽然分布函数替换后导致积分变复杂,但只是数学处理的方法不同,两者的物理思想却完全一致。通过这样的比较学习,学生对非简并半导体与简并半导体以及玻尔兹曼分布函数与费米分布函数的理解就会更加深入。

三、结束语

通过以上教学改革措施,培养了学生的学习兴趣,增加了学生的学习积极性,提高了半导体物理课程的课堂教学效果,为学生后续专业课程的学习奠定了扎实的基础。

参考文献:

半导体论文篇12

一、背景介绍

近年来,随着互联网信息技术的飞速发展,MOOC平台上大量的教育资源逐渐得到世界各地学生的青睐。为了让全世界的学生都能获得公平的教育机会,MOOC平台采取免收费、低门槛的方式允许所有人进行无障碍的在线学习。

“半导体物理导论”是微电子与固体电子学、电子封装技术及其相关从业人员所必须了解及掌握的一门课程,是相关材料学、电子学、光学等学科的学科基础必修课,国内外相关专业的学科基础必修课。传统课堂教育主要以课堂授课、书本练习为主,师生互动模式较为单一。学生在学习过程中往往感到枯燥,学习兴趣不强烈,学习效果不如意,更多依赖于学生的自主性和教师强制性布置作业和考试等来督促学生进行学习和课后的巩固。MOOC平台的出现为“半导体物理导论”的高校教育带来了新的机遇和可能。

二、课程建设

1.“半导体物理导论” MOOC教学的通识性

传统的高等教育往往基于特定的学科体系对学生进行培养,而对与专业无关的课程则选择忽视,正是这种局限导致了学校培养出的学生只具备某种学科的思维,局限于某一领域,而对多元化的世界没有全面的体验。MOOC平台的出现打破了这种局限性,让学生有更多机会接触到不同学科思维,进而碰撞出更多思维的灵感和创造的火花,从而使不同学科体系的学生通过接触不同学科的熏陶,建立一种通识素养,在实现教学内容丰富化的同时,真正培养学生全面多元的复合素质。鉴于此,上海工程技术大学在开设“半导体物理导论”MOOC课程建设时,就旨在通过MOOC与传统课堂教育的双管齐下,让更多学科体系的学生有机会感受到半导体领域的学科视角。

2.“半导体物理导论”的翻转课堂

长期以来,传统教学都是教师在课堂上进行单向输入式传授。半导体物理导论作为一门专业必修课,理论性很强,对现代物理、量子力学以及微积分要求较高,连续90分钟的学习经常让学生感到理解困难、疲劳,以至于走神分心,不能集中精力。

而MOOC教学则将每个单元的教学划分成若干知识点,每个知识点可以录制一个甚至几个视频。学生在视频学习的过程中,可以通过反复观看来加强理解。而且短小精悍的视频学习也不会让学生因感到疲劳而出现走神分心的现象。

3. 全学分制管理

上海工程技术大学采用全学分制教育,通过鼓励学生使用MOOC资源的学习,允许学生将所学课程的完成率转化成在校的课程学习的成绩和学分,这大大提高了学生学习的自主性和积极性。

三、结语

“半导体物理导论”的MOOC教学方式打破了传统课堂教学的局限性,为更多本专业的学生以及相关工程技术人员提供了半导体相关知识的普及教育。而且,结合各章节内容设计不同的情境案例,适当地运用视频、图片、动画等多媒体辅助资料,不仅极大地丰富了讲义内容,还让学生通过对案例的分析、讨论,使学生形象、直观地感受专业知识,加深学生对教学内容的理解,而不是片面地、“填鸭式”地强迫学生通过死记硬背获得知识。

半导体论文篇13

材料是人类文明的里程碑,其中半导体材料更是现代高科技的基础材料。近年来,半导体材料在国民经济和前沿科学研究中扮演越来越重要的角色,引起了社会的广泛关注。半导体材料作为材料科学与工程专业的核心专业课,主要是通过研究学习Si、Ge、砷化镓等为代表的半导体材料的性质、功能,内容涉及晶体生长、化学提纯、区熔提纯等半导体材料的生长制备方法及半导体材料的结构、缺陷和性能的分析和控制原理。随着现代科技的飞速发展,该学科也更新换代加快,形成了一些新的理论和概念。为了进一步提高对半导体材料课程的教学质量,我们借鉴国内外大学先进的教学理念,对该课程存在的问题进行了总结,并提出了新的教学改革。

一、课程存在的问题

在半导体材料课程的教学实践过程中,存在诸多的问题,例如该课程教材包含的内容非常宽泛,理论强且概念多而抽象;部分内容与其他课程的重复性相对较高,使得学生缺乏学习兴趣;更主要的是教材内容大多注重理论,而忽视了实践的重要性,缺少对前沿科学知识的相关介绍。此外,目前传统的课堂教学方法主要是简单的教师讲述或者板书课件的展示形式,学生被动地接受知识,部分学生只能通过死记硬背的方式来记住教师所传授的基础理论知识,长此以往,只会加重学生对该课程的厌学情绪。此等只会与因材施教背道而驰,扼杀学生的个性和学习的自主性,不利于培养创造新型科学性专业型人才。

二、课程改革的必要性

《半导体材料》课程以介绍半导体材料领域的基础理论为目的,从常见半导体的性质,揭示不同半导体材料性能和制备工艺之间的关系,全面阐述各半导体材料的共性基础知识与其各自适应用于的领域。在当今信息时代科技的飞速发展中,只有结合理论和实践才能发挥半导体的最大效用,才能更有效地掌握其深度和广度,这些对后续课程的实施也有着一定的影响。作为材料科学与工程专业的重要专业课程之一,除了让学生学习理论知识,更重要的是培养学生的科学实践能力和职业技能,以适应当今社会的发展。针对以上存在的问题,半导体材料的教学改革迫在眉睫。由此才可以改变学生的学习现状,调动和提高学生的学习兴趣,提高教学质量,使得我们所学知识真正为我们所用。

三、教学内容的改革

1.内容的改革。对传统的半导体材料教学内容的改革,从根本上来看最重要的是引入前沿知识,实现内容的创新,并且使得理论联系实际。下图是目前我校的半导体材料的基本内容,如下:

目前我校的半导体材料课程内容主要由以上几个部分组成,其中A、B两部分的内容为重要部分,整个学期都在学习;而C部分相对来说比较次要,在学习过程中大概讲述一至两种半导体材料,剩下的部分属于自学部分,也不在考试范围内;至于专业课的实验,也相对较少且没有代表性。该课程是在大三上学期开设的,对于处于这个阶段的学生来说,面临这考研或就业的选择与准备过程中。所以作为一门专业课,除了注重半导体材料的特性、制备和应用方面的知识外,更重要的是半导体材料的应用领域和研究现状相结合,增加其实用性,不管对考研,还是就业的同学来说,都有一定的帮助。对于改革后的教学内容,除了增加对图1中C部分的重视度,其次,应增加各模块:目前半导体材料的热点应用领域及研究现状。还有图1中的A、B部分可适当地减少,因为在其他的专业课程都有学习过,对于重复的知识巩固即可,没必要再重点重复学习。对于实验课,相对于实验室来说,能够操作的实验往往没有多大的挑战性,有条件的话能够进入相关企业观摩,身临其境的感受有意义得多。

在实际的课程教学过程中,除了学习常见半导体材料的发展历史和研究方法外,介绍一些新型的半导体材料及其应用领域,例如半导体纳米材料、光电材料、热电材料、石墨烯、太阳能电池材料等,使学生能够区分不同半导体各自的优缺点;除了介绍晶体生长、晶体缺陷类型的判定及控制的理论知识外,介绍几种生产和科研中常见的材料检测方法,如X射线衍射、扫描电子显微镜、红外光谱仪、荧光光谱等。此外,还可以介绍当前国内外的半导体行业的现状和科技前沿知识,让学生清楚半导体行业存在的一些问题需要他们去完成,以激发学生的使命感和责任感。在讲授各种外延生长的设备和原理时,应介绍一些相关的科学研究工作,如真空镀膜、磁控溅射等。另外,可以以专题的形式,介绍一些前沿内容,如半导体纳米材料、石墨烯方面的研究进展和应用前景等,拓宽学生的知识面,以激发学生的研究兴趣和培养创新意识。

2.教材参考书的选择。《半导体材料》课程内容较多,不同的教材的侧重点不一样,所以仅仅学习教材上的内容往往不够,所以根据课程的改革要求和《半导体材料》课程自身的特点,需要与本课程密切相关的、配套齐全的参考教程,例如半导体器件物理(第二版)、微电子器件与IC设计基础(第二版)、半导体器件原理等。

四、教学方法的改革

由于传统的教学观念的影响,半导体材料课程的仍是以板书课件为主的传统的教学方法。这种单一枯燥的教学方式忽视了学生的学习兴趣和学习的主观能动性,极大地阻碍了对学生创新能力的培养。此外,该课程的考核方式单一,以期末考试为主,一定程度使学生养成了为考试而学的心态,对所学知识死记硬背,没有做到真正的融会贯通、学以致用的目的。大部分学生以修学分为目的,期末考试后对所学知识所知无几,学一门丢一门的心态,严重影响了教学效果,更重要的对学生今后的研究和工作没有任何的帮助。可见,对这种灌输知识的教学方式和考核机制的改革迫在眉睫。在教学过程中采用小组式讨论,网络教学平台,专题式讲解,实验教学等多种教学方式,将有益于改善教学效果。

1.小组讨论式教学。为了充分发扬学生的个性特点和体现教学的人性化,使得学生真正成为主体,必须提供新颖、易于讨论的课程环境,从而培养学生自主创新的意识和能力。小组讨论式教学模式就很好地体现了这一点,在小组讨论中,可以使学生发表自己所思所想,相互学习,集思广益,取长补短。教师在教学过程中应鼓励学生质疑的精神,使其敢于突破传统,思维独到,鼓励学生在错误中积累宝贵经验;给予学生正能量,引起学生的学习热情和兴趣,营造轻松、积极的课堂环境。

2.网络教学平台。在多媒体盛行的时代,开放式、多媒体式教学方式备受关注,即建设一个融入教师教和学生学为一体的、便于师生互动的网络教学平台。在网络教学平台上可以提供各种学习辅助资料和学习支持服务。例如一对一的视频辅导、课堂直播、网上答疑、学习论坛、名师讲解等形式。学生可根据自身的学习爱好和学习习惯自主选择学习时间。通过这种便利的人机交互学习,为学习者提供了一个针对性强、辅助有利、沟通及时、互动充分、独立自主的学习环境,同时提供了丰富的学习资源。

3.专题式讲解。半导体材料课程包含的内容很广泛,有许多的分支;由于教学内容的增多,往往会给学生造成错乱,理不清思绪。专题式讲解是更系统的学习,使学习过程有条不紊。专题式讲解既可以由教师主讲,也可以由学生自己学习整理,再以PPT的形式将所学所思讲给同学听。既锻炼了学生的自学能力,又锻炼了学生的口语和实践能力。

4.实验教学。实验是一种提高学生感性认识的有效手段,实验教学将有助于学生深入理解所学理论知识,并在实验中应用相关理论,为学生获得新的理论知识打下良好的基础。例如,可以通过实践教学方法来传授半导体材料的生长制备、结构表征、性能测试以及应用等方面的知识。合理安排实验,通过在实验设计过程中制定实验方案、实验操作、实验报告或论文撰写等环节,不仅提高了学生的动手能力,对学生创新能力的培养也起到极大的促进作用。对实验过程中出现的实验偏差、操作失误、环境改变等对实验结果的影响分析,为将来的科研工作打下坚实的基础。此外,建立校企合作新机制,依托企业、行业、地方政府在当地建立多个学生教学实习基地,为加强实践教学提供有力支撑,让学生有实地模拟学习的机会,提高教学效果,增强学习兴趣。

五、结论

《半导体材料》课程是材料科学与工程专业的重要专业课程。半导体材料课程的教学改革,对提高材料专业的人才培养质量具有一定的意义。依据科学技术的发展,及时更新教学内容改革教学方法,因材施教。同时在教学实践中,我们将半导体材料的新理论、新应用和一些科学研究成果引入到教学内容当中,处理好基础性和创新性、先进性、经典和现代的关系,加强理论联系实际的教学环节建设,有利于提高教学质量,加强学生的学习效果,培养出具有扎实理论基础、较强的实践能力的应用技术型人才和一定科研能力的研究型人才。

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